Typ:Vorlesung und Praktikum
Fakultät:IW
Studiengang:Schwerpunkt WI, ETiT, MT, E3
Semester:WS
Ort: --
Zeit: --
Beginn: --
Dozent:Prof. Dr.-Ing. Christiane Thielemann
SWS:4
ECTS:5
Prüfung:Schriftlich

Die Vorlesung Mikrosystemtechnik bietet den Studierenden erste Einblicke in die Technlogie und die Anwendungen von Mikrosystemen auf Siliziumbasis.


Vorlesungsunterlagen

Übungen

Formelsammlung

Praktikumsanleitungen


Weiterführende Dokumente

Kristallgitterorientierungen Silizium