Beschichtung eines Bauteils im Plasma der Sputteranlage

Das Labor für Beschichtungstechnik befaßt sich mit Forschung und Lehre im Bereich der Dünnschichttechnik und der Vakuumtechnik.

Dünnschichttechniken werden in der industriellen Fertigung dort eingesetzt, wo die Oberfläche des Bauteils andere Eigenschaften als das Volumenmaterial aufweisen soll. Dementsprechend vielfältig sind die Einsatzbereiche moderner Dünnschicht- und Vakuumtechniken. In nahezu allen Industriebereichen werden Dünnschichttechniken angewendet (weitere Details).

Einer der am weitest verbreiteten Prozesse zur Abscheidung von dünnen Schichten ist der Sputter-Prozeß. Das Labor ist daher mit einem Sputter für Substratgrößen bis Ø 200 mm ausgestattet. 

Praktisch alle Techniken zur Abscheidung von dünnen Schichten finden im Vakuum statt. Daher ist ein wesentlicher Bestandteil des Labors auch die Ausbildung der Studenten in die Grundlagen der Vakuumtechnik. Hierfür stehen umfangreiche Exponate und Versuchsaufbauten zur Verfügung (weitere Details).

Überblick über das Labor. Im Fordergrund ist der Reinraumbereich zu erkennen

Ausstattung

  • PVD-/PECVD-Anlage (SPUTTER) für Substratgrößen bis Ø 200 mm
  • Reinraumbereich mit Reinraumklasse 100 nach US Fed. 209 E bzw. ISO 5 nach der DIN ISO 14644-1
  • Zentrale Gasversorgung für N2, O2, Ar, H2
  • Feuergeschützte Gefahrstoffschränke mit Absaugung
  • Schichtdickenmessgerät DEKTAK DXT SURFACE PROFILE MEASURING SYSTEM
  • Demonstrations- und Versuchsaufbauten zur Vakuumtechnik
  • Studentenarbeitsplätze

 

Weitere Details zur Ausstattung finden Sie hier.

Der Reinraumbereich mit der Sputteranlage (links) und dem Oberflächenprofilometer (hinten rechts)

Charakterisierung und weitere Prozessierung

Zur Charakterisierung der Oberflächen und zur weiteren Prozessierung stehen an der Hochschule in anderen Laboren eine Vielzahl von Geräten zur Verfügung, die bei Bedarf genutzt werden können, z.B.:

Untersuchung eines Si-Wafers
  • Optische Mikroskopie
  • Rasterelektronenmikroskopie
  • Energiedispersive Röntgenspektroskopie
  • Röntgenfluoreszenzanalyse
  • Absorptionsspektroskopie (UV, VIS, IR)
  • Dielektrizitätsmessungen bis 1GHz
  • Flip-Chip-Bonder
  • Dünndrahtbonder
  • Pulltester

Kontakt

Prof. Dr. Manfred Stollenwerk
Manfred.Stollenwerkh-abde

Johannes Stadtmüller, B. Eng.
Johannes.Stadtmuellerh-abde